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J-GLOBAL ID：200902224550419022   Reference number：07A0066201

Investigations on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate (1st Report)-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-

アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)-一層ナップ構造ポリシャの場合-

Author (4)： YASUI HEIJI (熊本大 工) ,  YAMAGUCHI KANTA (熊本大 大学院自然科学研究科) ,  MATSUKAWA SEIJI (熊本大 大学院自然科学研究科) ,  YAMASAKI YUTAKA (熊本大 大学院自然科学研究科)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 73  Issue： 1  Page： 107-111  Publication year： Jan. 05, 2007 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *magnetic disk ,...
Semi thesaurus term： silica ,...

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JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Memory units  (JC04060F)

Reference (5)：

• 安井平司. アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第1報). 精密工学会誌. 1994, 60, 1, 128
• 安井平司. アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第2報). 精密工学会誌. 1994, 60, 11, 1631
• 佐藤郁. 磁気ヘッドスライダの極低浮上化に及ぼす基板の超平滑ポリシングの効果. 精密工学会誌. 1994, 60, 9, 1268
• YASUI, H. High Removal Rate Ultra-Smoothness Polishing of NiP Plated Aluminum Magnetic Disk Substrate by Means of High Polishing Speed with High Polishing Pressure. Proc. ASPE 17th Annual Meeting, 2002. 2002
• YASUI, H. Polisher Life in High Speed Ultra-Smoothness Polishing of NiP Plated Aluminum Magnetic Disk Substrate. Proc. ASPE 19th Annual Meeting, 2004. 2004

Terms in the title (7)： アルミ ,  磁気ディスク基板 ,  高圧力 ,  超高速度 ,  ポリシング ,  寿命 ,  ナップ構造