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J-GLOBAL ID：200902225683257072   Reference number：05A1021563

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Development of the NC-PCVM Machine and Acquisition of Machining Properties-

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-加工装置の開発と基本的加工特性の取得-

Author (6)： YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  SHIBAHARA MASAFUMI (兵庫県工技セ) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGIYAMA TSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 71  Issue： 4  Page： 455-459  Publication year： Apr. 05, 2005 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma CVD ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical communication systems and equipment  (ND10000B)

Reference (14)：

• 日本水晶デバイス工業会編. 水晶デバイスの解説と応用. 2002, 50
• 佐藤雄一. 光伝送用電圧制御水晶発振器の提案. 電気学会電子・情報システム部門大会講演論文集, 2001. 2001, 2, 215
• 佐藤佐千雄. 通信用水晶加工技術. 精密工学会誌. 1998, 64, 1, 71
• 荻野隆. 砥粒加工による超薄型水晶の加工技術. 精密工学会誌. 2000, 66, 1, 69
• KOYAMA, Mitsuaki. Fundamental mode 155MHz with flat blank in the crystal unit using VCXO. Proc. IEEE Int. Freq. Control Symp., 1999. 1999, 53, 1, 338

Terms in the title (9)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  高精度加工 ,  研究 ,  加工装置 ,  開発 ,  加工特性