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J-GLOBAL ID：200902237004502029   Reference number：04A0370780

Nanometer Trench Fabricated by Atomic Force Microscopy

原子間力顕微鏡により作製したナノメータトレンチ

Author (3)： YUKIYA T (Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN) ,  AIZAWA K (Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN) ,  FUJIHASHI C (Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 4A  Page： 1660-1665  Publication year： Apr. 15, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： anodic oxidation

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JST classification (1)： Techniques for samples  (BA02070O)

Reference (11)：

• 1) E. S. Snow and P. M. Campbell: Appl. Phys. Lett. 64 (1994) 1932.
• 2) K. Matsumoto, S. Takahashi, M. Ishii, M. Hoshi, A. Kurokawa, S. Ichimaru and A. Ando: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 1387.
• 3) D. Wang, L. Tsau, K. L. Wang and P. Chow: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 1295.
• 4) Y. Gotoh, K. Matsumoto and T. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 2578.
• 5) B. Legrand, D. Deresmes and D. Stiévenard: J. Vac. Sci. Technol. B 20 (2002) 862.

Terms in the title (2)： 原子間力顕微鏡 ,  作製