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J-GLOBAL ID：200902238521126564   Reference number：04A0473473

Ti-Al, Graded Al/AlTi, and Ti-Al-N Coatings Prepared by Supersonic Free-Jet PVD

超音速フリー-ジェットPVDにより作製したTiAl,傾斜Al/TiAl,及びTi-Al-N皮膜

Author (5)： YUMOTO A (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  YAMAMOTO T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIROKI F (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  SHIOTA I (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  NIWA N (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
Material： Materials Transactions  (Mater Trans)
Volume： 45  Issue： 5  Page： 1620-1623  Publication year： May. 20, 2004 
JST Material Number： G0668A  ISSN： 1345-9678  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： supersonic jet ,...
Semi thesaurus term： titanium nitride

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JST classification (1)： Vapor plating  (WC08022K)

Reference (32)：

• 1) K. Shibue: Materia Japan 35 (1996) 616-622.
• 2) S. Takagi and C. Ouchi: J. Japan Inst. Metals 60 (1996) 155-162.
• 3) T. Nagae, S. Saji, T. Yanagimoto, M. Nose and M. Yokota: Mater. Trans., JIM 41 (2000) 457-460.
• 4) J.-E. Sundgren and H.T.G. Hentzell: J. Vac. Sci. Technol. A, 4 (1986) 2259-2279.
• 5) X.T. Zemg, S. Zhang and L.S. Tan: J. Vac. Sci. Technol. A 19 (2001) 1919-1922.

Terms in the title (8)： 超音速 ,  ジェット ,  PVD ,  作製 ,  TiAl ,  Al ,  Ti ,  皮膜