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J-GLOBAL ID：200902246609622793   Reference number：06A0065736

Optimization of poly-Si TFT for controlling field emitter arrays

FEA制御のためのポリシリコンTFTの構造最適化

Author (6)： YASUMURO CHIAKI (産業技術総合研) ,  SAKAMURA YUICHI (産業技術総合研) ,  NAGAO MASAYOSHI (産業技術総合研) ,  TANOUE HISAO (産業技術総合研) ,  KANEMARU SEIGO (産業技術総合研) ,  ITO JUNJI (産業技術総合研)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 105  Issue： 498(ED2005 182-191)  Page： 21-26  Publication year： Dec. 15, 2005 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *field emission array ,...
Semi thesaurus term： シリコン ,...

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JST classification (2)： Thermoionic emission and field emission  (BM09020S) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Reference (8)：

• HIRANO, T. Fabrication of a New Si Field Emitter Tip with Metal-Oxide- Semiconductor Field-Effect Transistor (MOSFET) Structure. Jpn. J. Appl. Phys., Part 1, B. 1996, 35, 12, 6637-6640
• NAGAO, M. Fabrication of Si field emitter array integrated with MOSFET driving circuits. J. Vac. Sci. & Technol. B. 2002, 20, 6, 2309-2313
• 長尾昌善. ポリシリコンTFT一体型HfCフィールドエミッタアレイ. 信学技報. 2004, ED2004-191, 51-56
• VALDINOCI, M. Floating body effects in polysilicon thin-film transistors. IEEE Trans. Electron Devices. 1997, 44, 2234-2240
• GAMO, H. A field emitter array with an amorphous silicon thin-film transistor on glass. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 1301

Terms in the title (4)： FEA ,  ポリシリコン ,  TFT ,  構造最適化