Art

J-GLOBAL ID：200902250288380269   Reference number：06A0117951

Internal Resonant Mode of Piezo-Composite Fabricated Using X-Ray Lithography

SRリソグラフィを用いて製作した複合圧電材料の内部共振

Author (4)： HIRATA YOSHIHIRO (住友電気工業 エレクトロニクス・材料研) ,  NUMAZAWA TOSHIYUKI (住友電気工業 エレクトロニクス・材料研) ,  NAKAMAE KAZUO (住友電気工業 エレクトロニクス・材料研) ,  TAKADA HIROSHI (住友電気工業 エレクトロニクス・材料研)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 55  Issue： 2  Page： 173-176  Publication year： Feb. 15, 2006 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *composite material ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (1)： Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Reference (6)：

• 1) W. A. Smith, Pros. IEEE ULtrason. Symp., 755 (1989).
• 2) T. R. Gururaja, W. A. Schulze, L. E. Cross, R. E. Newnham, B. A. Auld and Y. J. Wang, IEEE Trans. Sonics. Ultrason., SU-32, 481 (1985).
• 3) G. Preu, A. Wolff, D. Cramer and U. Bast, Proc. Second European Ceramic Society Conference, 2005 (1991).
• 4) Y. Hirata, H. Nakaishi, T. Numazawa and H. Takada, IEEE Ultrason. Symp., 877 (1997).
• 5) W. A. Smith, Acoustic Imaging, 21 (1994).

Terms in the title (5)： Sr ,  リソグラフィ ,  製作 ,  圧電材料 ,  内部共振