Art

J-GLOBAL ID：200902251325260895   Reference number：03A0707670

High-Rate Synthesis of Diamond by Plasma CVD under Higher Pressure than Atmospheric Pressure

大気圧以上の高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成

Author (5)： TOYOTA HIROMICHI (愛媛大 工) ,  IDE TAKASHI (愛媛大 工) ,  YAGI HIDETSUGU (愛媛大 工) ,  KAKIUCHI HIROAKI (大阪大 大学院工学研究科) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 10  Page： 1444-1448  Publication year： Oct. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond ,...
Semi thesaurus term： carrier ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0707670&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (1)： Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (4)：

• 犬塚直夫. ダイヤモンド薄膜-非平衡状態からの出発. 1990, 7
• MITSUDA, Yoshitaka. Development of a new microwave plasma torch and its application to diamond synthesis. Rev. Sci. Instrum. 1989, 60, 2, 249
• YAGI, Hidetsugu. Generation of Microwave Plasma under High Pressure and Synthesis of Diamond. Transactions of the Material Research Society of Japan. 2000, 25, 1, 313
• 犬塚直夫. ダイヤモンド薄膜-非平衡状態からの出発. 1990, 44

Terms in the title (4)： 大気圧 ,  高圧力 ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンド