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J-GLOBAL ID：200902253117547415   Reference number：04A0658197

A Method for Assembling Nano-Electromechanical Devices on Microcantilevers Using Focused Ion Beam Technology

集束イオンビーム技術を用いて微小カンチレバー上にナノ電気機械的デバイスを組み立てるための方法

Author (1)： NAMATSU M N (NTT Corp., Atsugi, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 7B  Page： 4624-4628  Publication year： Jul. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *focused ion beam ,...
Semi thesaurus term： cantilever

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JST classification (1)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Reference (10)：

• 1) H. Kawaura, T. Sakamoto and T. Baba: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 3810.
• 2) Y. Takahashi, H. Namatsu, K. Kurihara, K. Iwadate, M. Nagase and K. Murase: IEEE Trans. ED 43 (1996) 1213.
• 3) M. Nagase, S. Horiguchi, A. Fujiwara and Y. Takahashi: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 2438.
• 4) M. A. Reed, C. Zhou, C. J. Muller, T. P. Burgin and J. M. Tour: Science 278 (1997) 252.
• 5) P. Bøggild, T. M. Hansen, O. Kuhn, F. Grey, T. Junno and L. Montelius: Rev. Sci. Instrum. 71 (2000) 2781.

Terms in the title (4)： 集束イオンビーム技術 ,  微小 ,  カンチレバー ,  電気機械