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J-GLOBAL ID：200902256758618966   Reference number：07A0671995

Surface Modification of Polytetrafluoroethylene Sheet by Atmospheric Pressure Plasma Treatment

大気圧プラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質

Author (4)： SHIBAHARA MASAFUMI (兵庫県工技セ) ,  AKAMATSU MASAMORI (日本ピラー工業) ,  KANZAKI HITOSHI (日本ピラー工業) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 58  Issue： 7  Page： 420-424  Publication year： Jul. 01, 2007 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： atmospheric pressure ,...
Semi thesaurus term： *plasma treatment ,...

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JST classification (1)： Surface treatment  (YH04112X)

Reference (10)：

• 1) たとえば, アクトンテクノロジー社, FluoroEtch Webカタログ.
• 2) 孝谷卓哉, 星野浩一;特開2003-201571 (2003).
• 3) M. Okoshi and M. Murahara ; Appl. Phys. Lett., 72, 2616 (1998).
• 4) 鈴木孝典, 稲垣訓宏;特開平11-314310 (1999).
• 5) M. Shibahara, K. Inagaki and K. Yamamura ; J. Surface Finish. Soc. Jpn., 2, 124 (2007)(in Japanese).

Terms in the title (3)： 大気圧プラズマ ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  表面改質