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J-GLOBAL ID：200902262428719871   Reference number：08A0718097

集束イオンビームによる架橋PTFEのナノスケール微細パターンの作成

Author (10)： FUKUTAKE NAOYUKI (早稲田大) ,  URAKAWA TATSUYA (早稲田大) ,  TAKASAWA YUYA (早稲田大) ,  MIYOSHI NOZOMI (早稲田大) ,  OSHIMA AKIHIRO (早稲田大) ,  WASHIO MASAKAZU (早稲田大) ,  OKAMOTO KAZUMASA (大阪大 産科研) ,  MATSUI YOSHINORI (大阪大 産科研) ,  SEKI SHUHEI (大阪大 産科研) ,  TAGAWA SEIICHI (大阪大 産科研)
Material： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
Volume： 57  Issue： 1 Disk1  Page： 3PA143  Publication year： May. 08, 2008 
JST Material Number： Z0703C  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *polytetrafluoroethylene ,  *polymer thin film ,  *nanometer process ,  focused ion beam ,  crosslinking ,  micro structure ,  pattern formation ,  electron irradiation ,  spin coating ,  thin film growth ,  dimensional accuracy ,  aspect ratio ,  etching ,  micro circuit technique ,  machining accuracy
Semi thesaurus term： machining accuracy ,  PTFE

JST classification (2)： Halogen containing polymers  (YH07100Z) ,  Thin films of organic compounds  (BK14070L)

Terms in the title (5)： 集束イオンビーム ,  架橋 ,  PTFE ,  ナノスケール ,  微細パターン