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J-GLOBAL ID：200902263637712830   Reference number：03A0487983

A study on profile method using optical stylus with speckle noise removal function

スペックルノイズ除去機能を有する光触針式輪郭測定法の研究

Author (3)： FUKATSU HIROYA (東京都工高専) ,  YANAGI KAZUHISA (長岡技科大) ,  SHIMAMOTO ATSUSHI (フォトニクス)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 7  Page： 1008-1012  Publication year： Jul. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,...

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Reference (10)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53,2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59,7, 1091

Terms in the title (6)： スペックルノイズ ,  除去機能 ,  触針 ,  輪郭 ,  測定法 ,  研究