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J-GLOBAL ID：200902264025311824   Reference number：07A0898358

Improvement of the Sensitivity of Phase-Modulation Atomic Force Microscopy using Q-control Technique

Q値制御法による位相変調方式原子間力顕微鏡の感度向上

Author (9)： KOBAYASHI NARITAKA (大阪大 大学院工学研究科) ,  LI Yan Jun (大阪大 大学院工学研究科) ,  NAITO YOSHITAKA (大阪大 大学院工学研究科) ,  KAGESHIMA MASAMI (大阪大 大学院工学研究科) ,  LI Yan Jun (JST-CREST) ,  NAITO YOSHITAKA (JST-CREST) ,  KAGESHIMA MASAMI (JST-CREST) ,  SUGAWARA YASUHIRO (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGAWARA YASUHIRO (JST-CREST)
Material： 表面科学  (JSSSJ)
Volume： 28  Issue： 9  Page： 532-535  Publication year： Sep. 10, 2007 
JST Material Number： F0940B  ISSN： 0388-5321  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： cantilever ,...

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JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (7)：

• 1) G. Binnig, C.F. Quate and Ch. Gerber: Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).
• 2) J. Trinick, G. Offer, P. Hallet, L. Tskgovrebova and M.J. Miles: J. Bac. Sci. B. 14, 1444 (1996).
• 3) T.R. Rodríguez and R. García: Appl. Phys. Lett. 82, 4821 (2003).
• 4) N. Kobyashi, Y.J. Li, Y. Naitoh, M. Kageshima and Y. Sugawara: Jpn. J. Appl. Phys. 45, L793 (2006).
• 5) A.D.L. Humphris, J. Tamayo and M.J. Miles: Appl. Phys. Lett. 77, 582 (2000).

Terms in the title (5)： Q値 ,  制御法 ,  位相変調 ,  原子間力顕微鏡 ,  感度向上