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J-GLOBAL ID：200902282728219405   Reference number：05A0670897

Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection

Siウエハ微細欠陥検出を行うエバネセント光測定システムの開発

Author (5)： TAKAHASHI S. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  NAKAJIMA R. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MIYOSHI T. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAYA Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAMASU K. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Key Engineering Materials  (Key Eng Mater)
Volume： 295/296  Page： 15-20  Publication year： 2005 
JST Material Number： D0744C  ISSN： 1013-9826  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *wafer ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (5)： Siウエハ ,  微細 ,  欠陥検出 ,  光測定 ,  開発