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J-GLOBAL ID：200902290170948904   Reference number：05A1019063

A Speckle Error Compensation System for Improving Measurement Performance of Optical Stylus Instrument

光触針式輪郭測定機の性能向上を目的としたスペックル誤差補正システム

Author (2)： FUKATSU HIROYA (東京都工高専) ,  YANAGI KAZUHISA (長岡技科大)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 70  Issue： 5  Page： 716-720  Publication year： May. 05, 2004 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,...
Semi thesaurus term： correction method

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (10)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59, 7, 1091

Terms in the title (6)： 触針 ,  輪郭 ,  測定機 ,  性能向上 ,  スペックル ,  誤差補正