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J-GLOBAL ID：200902291890609593   Reference number：04A0512851

Development of an Optical Stylus Displacement Sensor for Surface Profiling Measurement

輪郭形状測定のための光触針式変位センサの開発

Author (2)： FUKATSU HIROYA (東京都工高専) ,  YANAGI KAZUHISA (長岡技科大 工)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 70  Issue： 694  Page： 1737-1742  Publication year： Jun. 25, 2004 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： contour ,...

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JST classification (2)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (8)：

• BRODMANN, R. In-process Optical Metrology for Precision Machining. Proc. SPIE. 1987, 802, 165
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• KOHNO, T. High Precision Optical Surface Sensor. Appl. Opt. 1988, 27, 103
• BROWN, A. J. C. High speed optical measurement of 3D surfaces. Proc. SPIE. 1992, 2008, 150
• 真下寛治. 3次元自由曲面形状の光非接触測定装置. 精密工学会誌. 1993, 59, 7, 1091

Terms in the title (4)： 輪郭形状 ,  触針 ,  変位センサ ,  開発