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J-GLOBAL ID：200902292568314967   Reference number：03A0538649

Influence of Nitrogen Profile on Mo Workfunction

Mo仕事関数シフトへの窒素プロファイルの影響

Author (4)： HINO MASAKI (広島大 ナノデバイスシステム研セ) ,  AMADA TAKAAKI (広島大 ナノデバイスシステム研セ) ,  MAEDA NOBIHIDE (広島大 ナノデバイスシステム研セ) ,  SHIBAHARA KENTARO (広島大 ナノデバイスシステム研セ)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 103  Issue： 148(SDM2003 50-61)  Page： 49-52  Publication year： Jun. 26, 2003 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Molybdenum ,...

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JST classification (1)： Metal-insulator-semiconductor structures  (BM03085X)

Reference (10)：

• CHATTERJEE, A. Technical Digest of IEEE Int. Electron Devices Meeting. 1998, 777-780
• YAGISHITA, A. IEEE Trans. Electron Devices. 2001, 48, 1604-1611
• RANADE, P. Symposium Proceedings, Mat. Res. Soc. Proc. 2001, 611, C3.2.1-C3.2.6
• LU, Qiang. Digest of Symp. on VLSI Tech. 2001, 45-46
• RANADE, P. Symposium Proceedings, Mat. Res. Soc. Proc. 2001, 670, K5.2.1-K5.2.6

Terms in the title (5)： Mo ,  仕事関数 ,  シフト ,  窒素 ,  プロファイル