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J-GLOBAL ID：200902294907055235   Reference number：06A0931897

シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第9報)-ダイヤモンド一体型加工用カンチレバーの開発-

Author (9)： TAKANO NOBORU (富山大) ,  KAWASEGI NORITAKA (富山大 大学院) ,  OKA DAISUKE (富山大 大学院) ,  MORITA NOBORU (富山大) ,  KANDA KAZUTAKA (不二越) ,  TAKANO SHIGETO (不二越) ,  OBATA TSUTOMU (富山工技セ) ,  ASHIDA KIWAMU (産業技術総合研) ,  SHIBATA TAKAYUKI (豊橋技科大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2006  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： E37  Publication year： Mar. 01, 2006 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond tool ,...
Semi thesaurus term： CVD ,...

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JST classification (2)： Cutting in general  (QC02010V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (9)： シリコン ,  モールド ,  ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  開発 ,  応用 ,  体型 ,  カンチレバー