ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：外川英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995305777
Publication number (International publication number)：1997146031
Application date： Nov. 24, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘッドの高速シークが阻害されてしまっていた。【解決手段】本発明のガルバノミラー9 は第1のプレート21,第2のプレート22が積層された構造をなしている。第1のプレート21には固定部24、揺動部25、および2枚の弾性部26a,26b からなり、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体成形されている。また第2のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料で形成され、第1のプレート21の固定部24に対して静電接合等の手段で接合されている。また、弾性部26a,26b に対して対称な位置には第1および第2の電極28,29 が配置され、これら第1および第2の電極28,29 は揺動部25と逆極性でかつ任意の電位に帯電可能である。すなわち反射ミラー面と直交する方向の静的な変位に動的な回転変位が発生し、一方、反射ミラー面と直交する方向の動的な変位は励起されないものとなる。

Claim (excerpt)：

反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有するガルバノミラーにおいて、前記電極は前記一対の支持部材を結ぶ軸に対して対称な位置に配置された第1および第2の電極を備え、これら第1および第2の電極は前記揺動体に対して所定の電位差を持つように独立して電位制御されてなることを特徴とするガルバノミラー。

IPC (2)：

G02B 26/10 104 , G11B 7/09

FI (2)：

G02B 26/10 104 Z , G11B 7/09 E

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

光学ヘツド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-297226 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-229424
ガルバノミラー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-275845 Applicant：株式会社リコー

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Cited by examiner (5)

光走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-243785 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
光学ヘツド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-297226 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
静電力駆動光走査装置とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-218329 Applicant：松下電器産業株式会社

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