Pat
J-GLOBAL ID:200903000387962862
透明導電膜およびその製造方法並びにその用途
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000127633
Publication number (International publication number):2001307554
Application date: Apr. 24, 2000
Publication date: Nov. 02, 2001
Summary:
【要約】【課題】 大型高精細ELパネルに好適な、膜表面が平坦で抵抗率の低い透明導電膜を得ることが可能となる。【解決手段】 実質的にインジウム、スズ、ガリウムおよび酸素からなり、抵抗率が250μΩ・cm以下、かつ表面凹凸の最大高低差(Z-max)/膜厚(t)が10%以下であることを特徴とする透明導電膜であり、Ga/(In+Sn+Ga)の原子比が2〜9%の割合で含有されていることが好ましい。
Claim (excerpt):
実質的にインジウム、スズ、ガリウムおよび酸素からなり、抵抗率が250μΩ・cm以下、かつ表面凹凸の最大高低差(Z-max)/膜厚(t)が10%以下であることを特徴とする透明導電膜。
IPC (6):
H01B 5/14
, B32B 7/02 104
, B32B 9/00
, C03C 17/245
, C23C 14/08
, H01B 13/00 503
FI (6):
H01B 5/14 A
, B32B 7/02 104
, B32B 9/00 A
, C03C 17/245 A
, C23C 14/08 D
, H01B 13/00 503 B
F-Term (26):
4F100AA17A
, 4F100AA28A
, 4F100AA33A
, 4F100AG00B
, 4F100BA02
, 4F100DD07A
, 4F100EH662
, 4F100JG01
, 4F100JG04
, 4F100JN01
, 4F100YY00A
, 4G059AA01
, 4G059AC12
, 4G059EA01
, 4G059EA02
, 4G059EA03
, 4G059EB04
, 4K029BA45
, 4K029BA50
, 4K029BC09
, 4K029CA06
, 5G307EF10
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G323BA02
, 5G323BB05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
-
有機EL素子およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-230409
Applicant:ティーディーケイ株式会社
-
特開平4-272612
-
電極の製造方法および電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-230410
Applicant:ティーディーケイ株式会社
-
導電性積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-144996
Applicant:三菱化学株式会社
-
透明導電膜の製造方法及びそれを用いた薄膜太陽電池
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-166973
Applicant:シャープ株式会社
-
透明導電性フィルムおよびその製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-153459
Applicant:東洋紡績株式会社
-
成膜方法及び該成膜方法により製造された膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-328188
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開平4-065023
-
透明導電膜、スパッタリングターゲットおよび透明導電膜付き基体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-242176
Applicant:旭硝子株式会社
-
特開平4-065023
-
薄膜形成装置及び薄膜形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-213532
Applicant:株式会社リコー
-
スパッタ膜、液晶素子及びこれらの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-074793
Applicant:キヤノン株式会社
Show all
Return to Previous Page