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J-GLOBAL ID：200903000404301700

除振装置

Inventor： 海沼 正邦 ,  玉置 恵司 ,  藤田 知正 ,  珍田 寛
Applicant, Patent owner： 藤倉ゴム工業株式会社
Agent (1)： 三浦 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000216835
Publication number (International publication number)：2002031189
Application date： Jul. 18, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：

【要約】【目的】 固定台と可動台との間にそれぞれ、可撓性気密部材を介して垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置の低背化を図る。【構成】 水平方向の圧力空気室を形成する可撓性気密部材をダイアフラムから構成した除振装置。

Claim (excerpt)：

固定台と可動台との間に、可撓性気密部材を介してそれぞれ、垂直方向に拡縮可能な圧力空気室と、水平方向に拡縮可能な圧力空気室とを形成した除振装置において、上記水平方向に拡縮可能な圧力空気室を形成する可撓性気密部材を、ダイアフラムから構成したことを特徴とする除振装置。

IPC (3)：

F16F 15/04 ,  F16F 9/04 ,  F16F 9/46

FI (4)：

F16F 15/04 A ,  F16F 15/04 F ,  F16F 9/04 ,  F16F 9/46

F-Term (13)：

3J048AA01 ,  3J048AB12 ,  3J048BA01 ,  3J048BE02 ,  3J048CB21 ,  3J048DA01 ,  3J048DA04 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  3J069AA25 ,  3J069AA27 ,  3J069AA32 ,  3J069EE63

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 除振装置、露光装置およびデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-134240   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平1-145441
  
• 吸振体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-021948   Applicant：特許機器株式会社
• 除振装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-118915   Applicant：藤倉ゴム工業株式会社
• 特開平1-145441