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J-GLOBAL ID：200903061022814545

除振装置、露光装置およびデバイス製造方法

Inventor：
原 浩通

About 原 浩通


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998134240
Publication number (International publication number)：1999315883
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：
【要約】【課題】 省スペースでエアダンパの固有振動数を高くする。また、エアダンパの固有振動数を可変にする。【解決手段】 駆動方向が鉛直方向で対向するように配置した一対のエアダンパと、該エアダンパの内圧を制御する手段とを設け、内圧の調整により固有振動数が可変となっている。
Claim (excerpt)：
駆動方向が鉛直方向で対向するように配置した一対のエアダンパと、該エアダンパの内圧を制御する手段とを有することを特徴とする除振装置。
IPC (3)：
F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4)：
F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 516 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (28)
  • 特開平3-219141
  • 特開平3-219141
  • 防振装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-239013   Applicant：株式会社ニコン
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