Pat
J-GLOBAL ID:200903000429421387
弾性表面波装置および通信装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004247510
Publication number (International publication number):2006067258
Application date: Aug. 26, 2004
Publication date: Mar. 09, 2006
Summary:
【課題】 送信側フィルタおよび受信側フィルタを同一の圧電基板上に作製した弾性表面波素子を用いた弾性表面波装置ではアイソレーション特性が悪かった。 【解決手段】 弾性表面波装置の弾性表面波素子1において、従来、圧電基板2の励振電極3形成面とは異なる他方主面の全面に、弾性表面波素子1の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために設けていた導体層を、キャリア移動度の小さい半導体層22に代えることにより、送信側フィルタ領域12の入力パッドおよび受信側フィルタ領域13の出力パッドとの間に形成されていた寄生容量を低減することができる。これにより、アイソレーション特性を改善することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
圧電基板の一方主面にそれぞれ励振電極と入力パッド部と出力パッド部とを具備する送信側フィルタ領域および受信側フィルタ領域が形成されているとともに、他方主面に半導体層が形成された弾性表面波素子を、実装用基体上に前記一方主面を対面させて実装していることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (6):
H03H 9/25
, H03H 9/145
, H03H 9/72
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
FI (7):
H03H9/25 A
, H03H9/25 C
, H03H9/145 D
, H03H9/72
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 Z
F-Term (13):
5J097AA10
, 5J097AA27
, 5J097BB15
, 5J097DD20
, 5J097FF01
, 5J097FF03
, 5J097FF07
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097KK01
, 5J097KK08
, 5J097KK09
, 5J097KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (8)
-
表面弾性波素子とその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-268542
Applicant:富士通株式会社
-
国際公開第99/54995号パンフレット
-
弾性表面波装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-278087
Applicant:京セラ株式会社
-
弾性表面波装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-263254
Applicant:松下電器産業株式会社
-
弾性表面波素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-066998
Applicant:株式会社村田製作所
-
表面弾性波素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-071586
Applicant:松下電器産業株式会社
-
弾性表面波フィルタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-126161
Applicant:松下電器産業株式会社
-
圧電素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-379465
Applicant:キヤノン株式会社
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Cited by examiner (6)
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弾性表面波装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-278087
Applicant:京セラ株式会社
-
弾性表面波装置及びその製造方法
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Application number:特願2001-263254
Applicant:松下電器産業株式会社
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弾性表面波素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-066998
Applicant:株式会社村田製作所
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表面弾性波素子
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Application number:特願平6-071586
Applicant:松下電器産業株式会社
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弾性表面波フィルタ
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Application number:特願平7-126161
Applicant:松下電器産業株式会社
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圧電素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-379465
Applicant:キヤノン株式会社
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