静電チャック

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006136323
Publication number (International publication number)：2007311399
Application date： May. 16, 2006
Publication date： Nov. 29, 2007
Summary：

【課題】パーティクルの発生や板状試料への汚染が無く、板状試料及び静電チャックに帯電した電荷を直ちに放電して板状試料を直ちに離脱させることができ、スループットを向上させることができる静電チャックを提供する。【解決手段】本発明の静電チャック1は、載置板2と、支持板3と、静電吸着用内部電極4、4と、給電用端子5、5と、載置板2及び支持板3を貫通しかつ嵌合一体化した残留電荷放電用端子6と、絶縁材層7とにより構成され、残留電荷放電用端子6は、一端部11aを載置面2aと同一平面とし、載置板2と嵌合一体化された第1の端子部11と、支持板3と嵌合一体化された第2の端子部12と、第1および第2の端子部11、12同士を電気的に接続する導電部材13とにより構成されている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

板状試料を載置する載置面を有するとともに内部に静電吸着用内部電極を設けてなる基台と、この静電吸着用内部電極に直流電圧を印加する給電用端子と、前記基台を貫通しかつ該基台と嵌合一体化された残留電荷放電用端子とを備え、この残留電荷放電用端子の一端部を前記載置面と同一平面としたことを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/683 , H02N 13/00

FI (2)：

H01L21/68 R , H02N13/00 D

F-Term (6)：

5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA17 , 5F031HA35 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

管理作業車
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-350934 Applicant：ヤンマー農機株式会社
静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-368469 Applicant：京セラ株式会社
サセプタ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-118582 Applicant：住友大阪セメント株式会社

Show all

Cited by examiner (3)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-368469 Applicant：京セラ株式会社
サセプタ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-118582 Applicant：住友大阪セメント株式会社
ウエハ支持部材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-024804 Applicant：京セラ株式会社

Return to Previous Page