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J-GLOBAL ID：200903000502609888

慣性力センサ、およびその製造方法

Inventor：
平田 善明

About 平田 善明

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有吉 雄二

About 有吉 雄二

, 
吉川 英治

About 吉川 英治

, 
紺野 伸顕

About 紺野 伸顕


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 田澤 博昭 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002139158
Publication number (International publication number)：2003329704
Application date： May. 14, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 空気のリークのおそれが低減され、容易に小型化することができる封止構造の慣性力センサを提供する。【解決手段】 慣性力センサは、慣性力に応じて移動可能な可動構造体10と、可動構造体10の変位を測定するための固定電極9が配置された内部空間30を画定する外壁5Aを有する。内部空間30の上方にはシリコンキャップウエハ7が配置され、外壁5Aの上部に接合されて内部空間30を封止する。シリコンキャップウエハ7には、固定電極9に由来する信号を外部に出力するか、固定電極9を制御するため信号を外部から入力するための入出力電極17が形成されている。
Claim (excerpt)：
慣性力に応じて移動可能な可動子と、前記可動子の変位を測定するための固定電極と、前記可動子および固定計測子が配置された内部空間を画定する壁部と、前記内部空間の上方に配置され、前記壁部の上部に接合されて前記内部空間を封止するシリコンキャップウエハと、前記シリコンキャップウエハに形成されており、前記固定電極に由来する信号を外部に出力するか、前記固定電極を制御するため信号を外部から入力するための入出力電極とを備えた慣性力センサ。
IPC (3)：
G01P 15/125 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84
FI (3)：
G01P 15/125 Z ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P
F-Term (24)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA33 ,  4M112DA01 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA11 ,  4M112DA13 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112DA20 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA14 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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