静電チャック装置用接着シート及び静電チャック装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡部剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001149553
Publication number (International publication number)：2002083862
Application date： May. 18, 2001
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】高度な耐熱性を有する静電チャック装置用接着シート、およびそれを用いて作製された、熱履歴を受けた後でもセラミック基板の反りが極めて少なく、耐熱性に優れ、更に吸着力に優れた静電チャック装置を提供する。【解決手段】接着シートは、シリコーン樹脂弾性層11およびその両面に積層されたエポキシ樹脂またはフェノール樹脂を含有する熱硬化性接着剤層12,13よりなり、金属基盤上に、その接着シートを介して電極層および吸着面を有するセラミック層が順次積層されて静電チャック装置が作製される。

Claim (excerpt)：

吸着面がセラミックよりなる静電チャック装置の作製に用いるための接着シートであって、該接着シートがシリコーン樹脂弾性層およびその両面に積層されたエポキシ樹脂またはフェノール樹脂を含有する熱硬化性接着剤層よりなることを特徴とする静電チャック装置用接着シート。

IPC (11)：

H01L 21/68 , B32B 27/00 , B32B 27/00 101 , C08G 73/10 , C09J 7/02 , C09J161/06 , C09J163/00 , C09J179/08 , C09J183/10 , C09J201/00 , B23Q 3/15

FI (11)：

H01L 21/68 R , B32B 27/00 M , B32B 27/00 101 , C08G 73/10 , C09J 7/02 Z , C09J161/06 , C09J163/00 , C09J179/08 Z , C09J183/10 , C09J201/00 , B23Q 3/15 D

F-Term (85)：

3C016GA10 , 4F100AK27A , 4F100AK27C , 4F100AK27J , 4F100AK29A , 4F100AK29C , 4F100AK29J , 4F100AK33A , 4F100AK33C , 4F100AK41A , 4F100AK41C , 4F100AK46A , 4F100AK46C , 4F100AK49A , 4F100AK49C , 4F100AK49K , 4F100AK52B , 4F100AK53A , 4F100AK53C , 4F100AL01A , 4F100AL01C , 4F100AL05A , 4F100AL05C , 4F100BA03 , 4F100BA06 , 4F100BA15 , 4F100CA23B , 4F100GB41 , 4F100JA20 , 4F100JB13A , 4F100JB13C , 4F100JJ03 , 4F100JK06 , 4F100JK07B , 4F100JL11A , 4F100JL11C , 4J004AA05 , 4J004AA11 , 4J004AA12 , 4J004AA13 , 4J004AA15 , 4J004AA16 , 4J004CA05 , 4J004CC02 , 4J004EA05 , 4J004FA08 , 4J040CA072 , 4J040EB031 , 4J040EC001 , 4J040ED002 , 4J040EG002 , 4J040EH032 , 4J040EK112 , 4J040JA09 , 4J040JB09 , 4J040LA08 , 4J040MA04 , 4J040MB05 , 4J040NA20 , 4J043PA01 , 4J043PA05 , 4J043PA08 , 4J043QB33 , 4J043QB50 , 4J043RA35 , 4J043RA37 , 4J043SA06 , 4J043SA85 , 4J043SB03 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA132 , 4J043UB012 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB302 , 4J043WA09 , 4J043XA04 , 4J043ZB47 , 5F031HA02 , 5F031HA10 , 5F031HA17 , 5F031MA32 , 5F031PA18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-062325 Applicant：信越化学工業株式会社
静電チャック装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-180335 Applicant：東京エレクトロン株式会社
電子部品用接着剤および電子部品用接着テープ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-229199 Applicant：株式会社巴川製紙所

Show all

Return to Previous Page