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J-GLOBAL ID：200903000667945297

合焦位置検出方法、合焦位置検出装置及び露光装置

Inventor：
佐々木 亮

About 佐々木 亮


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001130925
Publication number (International publication number)：2002329646
Application date： Apr. 27, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 分解能の高い光学系を用いて入力されたマーク信号においても、高精度な位置の検出を可能にする。【解決手段】 合焦位置を検出するために、光電変換素子に合焦位置検出用マークWMからの光パターンを投影する手段を用い、マークWMの2次元信号から1次元マーク走査信号を得るための撮像装置107と、該1次元マーク走査信号からマークWMの合焦位置を検出するための合焦位置検出装置110とを備え、マークWMの境界部と撮像装置107に配列されている光電変換素子の配列方向の1方向とが直交しない交差角度に設定される。該交差角度は、撮像装置107を回転させること、またはマークWMの境界部を撮像装置107に配列された光電変換素子に対して回転させることに基づいて設定される。
Claim (excerpt)：
合焦位置を検出するために、配列された光電変換素子上に合焦位置検出用マークからの光パターンを投影する手段を用いて合焦位置検出を行う合焦位置検出方法において、前記マークの2次元信号から1次元マーク走査信号を得る工程と、前記1次元マーク走査信号から前記マークの合焦位置を検出する工程とを備え、前記マークの境界部と該光電変換素子の配列方向の1方向とが直交しない交差角度に設定されていることを特徴とする合焦位置検出方法。
IPC (6)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521
FI (8)：
G01B 11/00 B ,  G03F 1/08 M ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 526 Z ,  H01L 21/30 502 G ,  G02B 7/11 D ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N
F-Term (17)：
2F065AA06 ,  2F065BB28 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM25 ,  2H051AA10 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H095BA01 ,  2H095BB02 ,  2H095BE02 ,  5F046DA13 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 露光条件測定方法及びそれを用いた露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-294669   Applicant：キヤノン株式会社
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-111991   Applicant：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-270601   Applicant：株式会社ニコン
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