厚み測定装置、検査装置、製造装置および厚み測定方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：酒井伸司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003316259
Publication number (International publication number)：2005083894
Application date： Sep. 09, 2003
Publication date： Mar. 31, 2005
Summary：

【課題】その表面に微細な凹凸を有する測定対象体の厚みを正確に測定し得る厚み測定装置を提供する。【解決手段】測定用のレーザービームLを測定対象面に照射すると共にレーザービームLの反射光Rを受光して測定対象面との間の距離を特定可能な検出信号Sを出力する距離センサ11と、その表面41aが平坦またはほぼ平坦に形成されたセラミック板41を移動可能な移動機構と、移動機構に対してケース本体32の一面にセラミック板41を当接させると共に距離センサ11に対してセラミック板41の表面41aにレーザービームLを照射させて検出信号Sを出力させる制御部と、検出信号Sに基づいてケース本体32の厚みを測定する測定部とを備えている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

測定用の照射光を測定対象面に照射すると共に当該照射光の反射光を受光して当該測定対象面との間の距離を特定可能な検出信号を出力する検出手段と、その表面が平坦またはほぼ平坦に形成された測定用板部材を移動可能な移動機構と、当該移動機構に対して測定対象体の一面に前記測定用板部材を当接させると共に前記検出手段に対して当該測定用板部材の前記表面に前記照射光を照射させて前記検出信号を出力させる制御部と、前記検出信号に基づいて前記測定対象体の厚みを測定する測定部とを備えている厚み測定装置。

IPC (3)：

G01B11/06 , G11B23/107 , G11B23/113

FI (3)：

G01B11/06 Z , G11B23/107 , G11B23/113 501A

F-Term (17)：

2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065DD04 , 2F065DD05 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065RR06 , 2F065TT03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

厚み測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-207790 Applicant：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社

Cited by examiner (4)

光式センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-192892 Applicant：オムロン株式会社
高さ検出方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-230111 Applicant：松下電器産業株式会社
ICリード曲り測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-052915 Applicant：ソニー株式会社

Show all

Return to Previous Page