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J-GLOBAL ID：200903000712078850

感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

Inventor： 藤野 竹生 ,  阿部 信紀
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Agent (1)： 西川 繁明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004101971
Publication number (International publication number)：2005284208
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：

【課題】 保存安定性を損なうことなく、断面が逆テーパー状で、耐熱性が顕著に優れ、かつ平滑性の高い基板に対しても密着性に優れたレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、活性光線の照射または活性光線の照射と引き続く熱処理によってアルカリ可溶性樹脂を架橋する架橋成分、活性光線を吸収する化合物、及びポリビニルアルキルエーテルを含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂(a)、活性光線の照射または活性光線の照射と引き続く熱処理によってアルカリ可溶性樹脂を架橋する架橋成分(b)、活性光線を吸収する化合物(c)、及びポリビニルアルキルエーテル(d)を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

FI (7)：

G03F7/033 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/038 601 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H01L21/30 502R

F-Term (29)：

2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BE00 ,  2H025CA00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA00 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

• 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-293107   Applicant：パイオニア株式会社
• ネガ型感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-353340   Applicant：日本ゼオン株式会社
• EL表示素子の隔壁形成用感放射線性樹脂組成物、隔壁およびEL表示素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-273213   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• 特許第3320397号公報
  
• ネガ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた表示デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-078065   Applicant：クラリアントジャパン株式会社
• レジスト組成物
  Gazette classification：再公表公報   Application number：JP2001001088   Applicant：日本ゼオン株式会社