樹脂

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (5)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 青山正和 , 鈴木三義 , 柳井則子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003206588
Publication number (International publication number)：2005053996
Application date： Aug. 07, 2003
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：

【課題】レジストに用いた場合に充分実用に足る溶解コントラストを有し、かつパターン倒れを抑制可能な樹脂、を提供する。【解決手段】低級アルキル分子から3方以上にポリマー鎖が延びた星型分岐ポリマーを含むことを特徴とする、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するレジスト用樹脂、3官能以上の連鎖移動剤の存在下、(メタ)アクリル酸エステルを含む単量体の重合により得られる星型分岐ポリマーを含む、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するレジスト用樹脂。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

低級アルキル分子から3方以上にポリマー鎖が延びた星型分岐ポリマーを含むことを特徴とする、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂。

IPC (3)：

C08F220/12 , C08F2/38 , G03F7/039

FI (3)：

C08F220/12 , C08F2/38 , G03F7/039 601

F-Term (31)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J011NA25 , 4J011NB06 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03R , 4J100BA20P , 4J100BC07P , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100FA04 , 4J100FA19 , 4J100FA20 , 4J100FA21 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

シャドウマスク形成用組成物およびこれを用いたシャドウマスクの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-161466 Applicant：東京応化工業株式会社, 株式会社日本触媒
(メタ)アクリル酸エステル系重合体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-184168 Applicant：日本曹達株式会社
ポリマー組成物
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-535677 Applicant：イネオスアクリリックスユーケーリミティド

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