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J-GLOBAL ID：200903000857268593

ガルバノスキャナシステムの調整方法

Inventor：
谷岡 望

About 谷岡 望


Applicant, Patent owner：
株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ

About 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ


Agent (1)： 横沢 志郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008126785
Publication number (International publication number)：2009276491
Application date： May. 14, 2008
Publication date： Nov. 26, 2009
Summary：
【課題】ガルバノスキャナシステムのオフセット調整、スケール調整を簡単かつ精度良く行うこと。【解決手段】ガルバノスキャナシステム1では、中心に配置した二次元光位置センサ32と、これを中心に同一円上に等角度で配置した4個の一次元光位置センサ33(1)〜33(4)とを備えた光位置検出ユニット30を、ワーク面7の走査中心に一致するように取り付ける。ガルバノスキャナ3、4に原点位置指令を与えて、低出力でレーザ光を照射して、二次元光位置センサ32の検出出力に基づきオフセット調整値を算出する。次に、ガルバノスキャナ3、4を左右、上下に振り、各一次元光位置センサ33の検出出力に基づき、ワーク面7に対する直角度判定、ワーク面7からの距離の算出を行い、これに基づきスケール調整値を算出する。可視レーザ光を目視しながらワーク面上の目盛に合わせて調整する場合に比べて、簡単、かつ精度良く調整を行うことができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ガルバノスキャナによる走査面上における当該ガルバノスキャナの原点位置に対応する走査中心位置に、二次元位置センサを配置し、 前記ガルバノスキャナに対して、当該ガルバノスキャナを原点位置に位置決めするための原点位置指令を入力して、前記ガルバノスキャナに取り付けたスキャナ位置センサからのセンサ出力に基づき、前記ガルバノスキャナを前記原点位置に位置決めし、 前記原点位置に位置決めされた前記ガルバノスキャナによるレーザ光の光スポットを前記二次元位置センサによって検出し、 前記二次元位置センサの出力と、前記光スポットの中心が前記二次元位置センサの検出面の中心に位置する場合に得られる当該二次元位置センサの原点位置出力との差を監視し、 この差が予め定めた規格値以下になるように前記ガルバノスキャナを駆動し、 前記差が規格値以下となったときの前記ガルバノスキャナに入力された位置指令の前記原点位置指令に対する差をオフセット調整値として採用することを特徴とするガルバノスキャナシステムの調整方法。
IPC (1)：
G02B 26/10
FI (2)：
G02B26/10 A ,  G02B26/10 104Z
F-Term (5)：
2H045AB54 ,  2H045CA88 ,  2H045CA97 ,  4E068AB00 ,  4E068CE03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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