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J-GLOBAL ID：200903001014303970

表面検査装置

Inventor：
田中 基司

About 田中 基司


Applicant, Patent owner：
株式会社ニデック

About 株式会社ニデック


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998341505
Publication number (International publication number)：2000162134
Application date： Dec. 01, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 コントラストの高い画像で効率的に検査が行える表面検査装置を提供する。【解決手段】 検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段とを備える。
Claim (excerpt)：
検査試料表面に明視野照明光を投光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するように切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/84 ,  G01N 21/88
FI (2)：
G01N 21/84 E ,  G01N 21/88 645 A
F-Term (16)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB20 ,  2G051BC04 ,  2G051BC10 ,  2G051CA03 ,  2G051CC11 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051FA01 ,  2G051FA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
  • 特開昭56-030724
  • 特開昭56-030724
  • 外観検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-094625   Applicant：日本電気株式会社
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