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J-GLOBAL ID：200903001092537724

ダミーウェハー

Inventor： 堀池 光昭 ,  島 武志
Applicant, Patent owner： 株式会社巴川製紙所
Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000370200
Publication number (International publication number)：2002175958
Application date： Dec. 05, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】【課題】 軽量で、搬送性が良く、破損やダストの発生が少なく、光センサによる検知が可能で、繰り返し使用することができると共に、安価な、ダミーウェハーを提供する。【解決手段】 ダミーウェハーの主要部であるウェハー基体1の表面1aに、接着剤層2を介して耐熱性樹脂フィルム3を形成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

板状の基体の一方の主面または両方の主面に、接着剤層を介して樹脂フィルムを形成してなることを特徴とするダミーウェハー。

IPC (2)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/205

FI (2)：

H01L 21/02 B ,  H01L 21/205

F-Term (3)：

5F045AF19 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• ダミーウェハー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-218897   Applicant：辰巳良昭, 宮下欣也
• パーティクル除去用円板治具及びこれを用いたパーティクル管理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-348103   Applicant：ソニー株式会社
• ダミーウェハ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-080284   Applicant：三菱鉛筆株式会社

Cited by examiner (3)

• ダミーウェハー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-218897   Applicant：辰巳良昭, 宮下欣也
• パーティクル除去用円板治具及びこれを用いたパーティクル管理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-348103   Applicant：ソニー株式会社
• ダミーウェハ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-080284   Applicant：三菱鉛筆株式会社