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J-GLOBAL ID：200903001191796820

半導体検査装置

Inventor：
長谷川 望

About 長谷川 望


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007111727
Publication number (International publication number)：2008267996
Application date： Apr. 20, 2007
Publication date： Nov. 06, 2008
Summary：
【課題】 キャリブレーション実施からDUT経由による位相差測定実施までの期間に周波数設定の変更があった場合でも、補正誤差が発生しない半導体検査装置を実現する。【解決手段】 信号発生モジュールからの高周波信号を検査対象半導体の入力端子に印加し、この半導体の出力端子の信号を高周波測定モジュールにより測定する半導体検査装置において、高周波信号を2分配する第1のデバイダーと、第1のデバイダーの一方の出力信号を2分配する第2のデバイダーと、第1のデバイダーの他方の出力信号を直接または検査対象半導体を介した信号と、第2のデバイダーの一方の出力信号とを切り換える切り換え手段と、切り換え手段の出力信号を入力する第1の高周波測定モジュールと、第2のデバイダーの他方の出力信号を入力する第2の高周波測定モジュールとを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
信号発生モジュールからの高周波信号を検査対象半導体の入力端子に印加し、この半導体の出力端子の信号を高周波測定モジュールにより測定する半導体検査装置において、 前記高周波信号を2分配する第1のデバイダーと、 この第1のデバイダーの一方の出力信号を2分配する第2のデバイダーと、 前記第1のデバイダーの他方の出力信号を直接または前記検査対象半導体を介した信号と、前記第2のデバイダーの一方の出力信号とを切り換える切り換え手段と、 この切り換え手段の出力信号を入力する第1の高周波測定モジュールと、 前記第2のデバイダーの他方の出力信号を入力する第2の高周波測定モジュールと、 を備えたことを特徴とする半導体検査装置。
IPC (1)：
G01R 31/28
FI (1)：
G01R31/28 H
F-Term (6)：
2G132AA00 ,  2G132AD04 ,  2G132AE11 ,  2G132AG01 ,  2G132AL11 ,  2G132AL16
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (4)
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