表面処理方法及び装置。

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007142434
Publication number (International publication number)：2008300442
Application date： May. 29, 2007
Publication date： Dec. 11, 2008
Summary：

【課題】帯状物体やベルトに固定した物体、或いは線状物体の表面を液体により処理するに際して、効率的な処理を行いまた装置全体を小型化する。【解決手段】帯状物体、またはベルトに固定した物体、或いは線状物体等の被処理物体を処理室の片側端面の入口開口から導入し、他側の端面の出口開口から導出するとき、前記片側端面側に設けた液体導入口から導入した液体を処理室内を移動する被処理物体との接触により前記出口開口側に流動させる。その際、前記出口開口側に流動する液体に対して前記被処理物体の移動方向と直角方向に対して傾斜する攪拌部により処理室内の液体流を攪拌する。また、被処理物体を処理室内において処理室中心から偏在して配置し、処理効果を促進する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被処理物体を処理室の片側端面の入口開口から導入し、他側の出口開口から導出するとき、前記片側端面側に設けた液体導入口から導入した液体を処理室内を移動する被処理物体との接触により前記出口開口側に流動させ、前記出口開口側に流動する液体に対して前記被処理物体の移動方向と直角方向に対して傾斜する攪拌部により処理室内の液体流を攪拌することを特徴とする表面処理方法。

IPC (2)：

H01L 21/304 , H01L 21/027

FI (4)：

H01L21/304 642D , H01L21/304 642A , H01L21/304 642B , H01L21/30 569A

F-Term (15)：

5F046LA11 , 5F046LA12 , 5F157AA01 , 5F157AB33 , 5F157AB62 , 5F157AB84 , 5F157AB94 , 5F157AC01 , 5F157AC13 , 5F157AC52 , 5F157BB03 , 5F157BB08 , 5F157DB02 , 5F157DB17 , 5F157DC84

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

太陽電池基板の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-073057 Applicant：京セラ株式会社
液晶表示装置の製造装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-290666 Applicant：松下電器産業株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-100944 Applicant：株式会社東芝

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横型酸洗装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-106629 Applicant：住友金属工業株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-141338 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
酸洗設備
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-182866 Applicant：三菱重工業株式会社, 川崎製鉄株式会社

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