Pat
J-GLOBAL ID:200903001797334385

レーザーダイオードアレイ、レーザー装置、合波レーザー光源および露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002201979
Publication number (International publication number):2003158332
Application date: Jul. 10, 2002
Publication date: May. 30, 2003
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 高出力が得られるレーザーダイオードアレイを得る。【解決手段】 複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップ312を、複数個並べて固定してレーザーダイオードアレイ310を構成する。
Claim (excerpt):
複数の発光点を有するマルチキャビティレーザーダイオードチップが、複数個並べて固定されてなるレーザーダイオードアレイ。
IPC (3):
H01S 5/022 ,  G03F 7/24 ,  H01S 5/22 610
FI (3):
H01S 5/022 ,  G03F 7/24 G ,  H01S 5/22 610
F-Term (18):
2H097AA16 ,  2H097AB06 ,  2H097CA03 ,  2H097CA17 ,  5F073AB05 ,  5F073AB21 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073BA07 ,  5F073CA02 ,  5F073EA24 ,  5F073FA07 ,  5F073FA08 ,  5F073FA14 ,  5F073FA15 ,  5F073FA18 ,  5F073FA22 ,  5F073FA30
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
Show all

Return to Previous Page