Pat
J-GLOBAL ID:200903001868412366
機能性材料定着方法、機能性材料定着装置、デバイス製造方法、電気光学装置及び電子機器
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004007153
Publication number (International publication number):2005095849
Application date: Jan. 14, 2004
Publication date: Apr. 14, 2005
Summary:
【課題】 機能性材料を被着面上の所定位置に精度よく定着させる方法を提案する。【解決手段】 本発明の機能性材料定着方法は溶媒(13)中に分散された機能性材料(11)を含む液滴(10)を被着面(20a)上に吐出する液滴吐出工程(図8(a))と、被着面(20a)上に吐出された液滴(10)にレーザ光を照射することにより液滴(10)を局所的に加熱し、液滴(10)の一部を気化させる乾燥工程(図8(b))と、を含む。【選択図】 図8
Claim (excerpt):
溶媒中に分散された機能性材料を含む液滴を被着面上に吐出する液滴吐出工程と、
前記被着面上に吐出された液滴にレーザ光を照射することにより前記液滴を局所的に加熱し、前記液滴の一部を気化させる乾燥工程と、
を含む、機能性材料定着方法。
IPC (9):
B05D1/26
, B05C5/00
, B05C9/14
, B05D3/06
, G02B5/20
, H05B33/10
, H05B33/14
, H05K3/00
, H05K3/10
FI (9):
B05D1/26 Z
, B05C5/00 101
, B05C9/14
, B05D3/06 Z
, G02B5/20 101
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05K3/00 N
, H05K3/10 D
F-Term (54):
2H048BA64
, 2H048BB02
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA03
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AE03
, 4D075AE04
, 4D075BB24Z
, 4D075BB29Z
, 4D075BB45Z
, 4D075BB48Z
, 4D075BB54Z
, 4D075CA22
, 4D075CB07
, 4D075CB08
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EA10
, 4D075EA45
, 4D075EC07
, 4D075EC10
, 4D075EC11
, 4D075EC17
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA46
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042BA19
, 4F042BA22
, 4F042DB01
, 5E343BB25
, 5E343BB76
, 5E343DD01
, 5E343ER45
, 5E343ER47
, 5E343FF05
, 5E343GG08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
素子製造方法および素子製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-236369
Applicant:セイコーエプソン株式会社
Cited by examiner (7)
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