Pat
J-GLOBAL ID:200903001884413690
コンプライアンス装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山田 強
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003352667
Publication number (International publication number):2005111644
Application date: Oct. 10, 2003
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
【課題】 塵埃の発生をなくして小型化が可能なコンプライアンス装置を得る。【解決手段】 外力の作用によって相対的に変位するベース2及びスライダ15を有する場合に、多孔質体8からの加圧気体の噴出によりベース2とスライダ15との間に静圧を発生させ、かつベース2とスライダ15との両者を磁石10によって引き寄せるように構成して、両者を相対的に非接触支持する。この構成によれば、ベース2とスライダ15との間では静圧の発生と引き寄せとが同時に行われることで、非接触支持を安定した状態で行うことができる。そして、かかる非接触支持により、外力の作用によってベース2とスライダ15とが相対的に変位した場合でも、その変位時に塵埃が発生するのを防止できる。しかも、従来のように塵埃を取り除くための構成は不要であり、その分装置を小型化することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
外力の作用によって相対的に変位する固定部及び可動部を有するコンプライアンス装置において、
加圧気体の噴出により前記固定部と前記可動部とを相対的に非接触支持する静圧発生部を設けるとともに、前記固定部と前記可動部との両者を磁気によって引き寄せるように構成したコンプライアンス装置。
IPC (2):
FI (2):
B25J17/02 G
, B23P19/00 304E
F-Term (4):
3C007BT20
, 3C007FS01
, 3C007FT02
, 3C007FT15
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
コンプライアンスユニット
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-112893
Applicant:エスエムシー株式会社
-
特開昭64-071688
-
コンプライアンスユニット
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-371669
Applicant:エスエムシー株式会社
-
特開昭64-034694
-
マイクロ開閉ハンド及びマイクロ平行チャック装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-202157
Applicant:シーケーディ株式会社
Show all
Cited by examiner (4)