ウェーハ研磨ヘッド、ウェーハ研磨装置ならびにウェーハの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999029388
Publication number (International publication number)：2000225556
Application date： Feb. 05, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】ウェーハ研磨ヘッドの製造に際し、リテーナリングの研磨作業を効率よく行い作業工数を減らして工期の短縮ならびに製造コストの削減を可能にする。【解決手段】天板部1aと周壁部1bとからなるヘッド本体1と、ヘッド本体1内に張設されたダイヤフラム2と、ダイヤフラム2の変形に伴ってウェーハWを変位させるキャリア3と、ダイヤフラム2の下面に当接し、その変形に伴って変位可能に設けられたリテーナリング4と、ダイヤフラム2をヘッド軸線L方向に変形させる圧力調整機構5とを具備するウェーハ研磨ヘッドHにおいて、リテーナリング4を、ヘッド本体1、ダイヤフラム2、キャリア3のいずれからも独立させ、ダイヤフラム2に対して離間可能に保持することで、ウェーハ研磨ヘッドHへの組み付け後もリテーナリング4に歪みが生じなくなり、これによって組み付け後のリテーナリング4の研磨作業が不要になる。

Claim (excerpt)：

天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、該ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張設されたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの下面側に固定されるとともに研磨すべきウェーハを下部に保持可能に設けられ、下部に保持した該ウェーハをダイヤフラムの変形に伴ってヘッド軸線方向に変位させるキャリアと、該キャリアの外周と前記周壁部の内壁との間に該周壁部と同心状に配置されて前記ダイヤフラムの下面に当接し、該ダイヤフラムの変形に伴って前記ヘッド軸線方向に変位可能に設けられたリテーナリングと、前記ヘッド本体と前記ダイヤフラムとの間に形成された流体室に満たされる流体の圧力を調整することによりダイヤフラムを前記ヘッド軸線方向に変形させる圧力調整機構とを具備するウェーハ研磨ヘッドであって、前記リテーナリングは、前記ヘッド本体、ダイヤフラム、キャリアのいずれからも独立しかつダイヤフラムに対して離間可能に保持されていることを特徴とするウェーハ研磨ヘッド。

IPC (2)：

B24B 37/00 , H01L 21/304 622

FI (2)：

B24B 37/00 B , H01L 21/304 622 K

F-Term (7)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA12 , 3C058AB04 , 3C058CB05 , 3C058DA06 , 3C058DA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

ウェーハ研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-041076 Applicant：三菱マテリアル株式会社
ウェーハ研磨装置および研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-041077 Applicant：三菱マテリアル株式会社
研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-079566 Applicant：株式会社日立製作所

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Cited by examiner (4)

ウェーハ研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-041076 Applicant：三菱マテリアル株式会社
ウェーハ研磨装置および研磨方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-041077 Applicant：三菱マテリアル株式会社
研磨装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-079566 Applicant：株式会社日立製作所

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