分子ポンプ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小山輝晃
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996324731
Publication number (International publication number)：1997310696
Application date： Nov. 20, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】プロセスガス負荷の大小にかかわらずロータやステータや排気管等の排気ガスと接触する部分の温度を所定温度に保って凝縮性ガスの凝縮を常時防止することができる分子ポンプを提供する。【解決手段】導入量の制御が可能な予熱用ガス導入手段と導入量の制御が可能なパージガス導入手段とを具備すると共に、リング3b、3bを介してステータ3aを上部筐体6に断熱的に係止し、第1ねじシール7を該ステータ3aに密着して接続し、排気管12a及び12bを下部筐体12に断熱的に挿通した構造とし、更に駆動用モータ8aは一定値以上のガス負荷の増大に対してその回転速度が低下する特性としてステータ3a、ロータ5等の排気ガスと接触する部分の温度調節を可能に形成した。

Claim (excerpt)：

ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成したことを特徴とする分子ポンプ。

FI (2)：

F04D 19/04 H , F04D 19/04 G

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

真空ポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-158491 Applicant：山口日本電気株式会社
特開昭61-043297
特開平2-146291

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Cited by examiner (9)

真空ポンプ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-158491 Applicant：山口日本電気株式会社
特開昭61-043297
特開平2-146291

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