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J-GLOBAL ID：200903002245465945

半導体ウエハのID認識装置及びID認識ソータシステム

Inventor：
鈴木 栄子

About 鈴木 栄子


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000106180
Publication number (International publication number)：2001291054
Application date： Apr. 07, 2000
Publication date： Oct. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 多様に変化するウエハ状態において正確なウエハIDを確定する。【解決手段】 カメラ照明制御部10は、読み取り光学条件記憶部5に記憶された読み取り光学条件となるよう撮像光学手段の光源を制御する。ID認識処理部6は、複数の読み取り光学条件で得られた各画像に対して認識処理を行なうと共に、各読み取り光学条件ごとに読み取りの確度を示す評価点数を算出して、認識結果と評価点数を記憶する。点数比較部7は、ID認識処理部6に記憶された、最も評価点数が高い読み取り光学条件での認識結果を半導体ウエハのIDとして確定する。ソータ制御コンピュータ3は、確定したウエハIDに基づいて半導体ウエハのソート作業を実行する。
Claim (excerpt)：
半導体ウエハ上の任意の位置に形成された識別情報(ID)を読み取るための撮像光学手段と、予め登録された複数の読み取り光学条件で前記撮像光学手段に前記IDを読み取らせ、複数の読み取り光学条件で得られた各画像に対して認識処理を行なうと共に、各読み取り光学条件ごとに読み取りの確度を示す評価点数を算出して、最も評価点数が高い読み取り光学条件での認識結果を前記半導体ウエハのIDとして採用する認識処理手段とを有することを特徴とする半導体ウエハのID認識装置。
IPC (6)：
G06K 9/20 320 ,  G06K 7/00 ,  G06K 13/07 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
FI (6)：
G06K 9/20 320 G ,  G06K 7/00 K ,  G06K 13/07 D ,  G06T 1/00 305 Z ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/68 A
F-Term (30)：
5B023JA04 ,  5B029AA01 ,  5B029BB05 ,  5B029CC03 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B072AA02 ,  5B072CC00 ,  5B072CC38 ,  5B072DD02 ,  5B072DD22 ,  5B072DD23 ,  5B072EE02 ,  5B072FF02 ,  5B072JJ01 ,  5B072JJ06 ,  5B072KK01 ,  5B072KK06 ,  5B072LL07 ,  5B072LL15 ,  5B072MM11 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA50 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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