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J-GLOBAL ID：200903002288428695

電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置

Inventor：
川村 幸里

About 川村 幸里


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  小林 龍 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002308164
Publication number (International publication number)：2004146146
Application date： Oct. 23, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：
【課題】電子ビーム装置のスループットに影響を与えずに、電子ビ試料に照射する電子ビーム電流を直接検出して高精度のビーム電流検出を行うことができる電子ビーム装置を提供する。【解決手段】電子ビーム源203から生じた電子ビームを検出する電流検出手段211をアパチャ204の後方に設け、電流検出手段211は、移動ステージ206とは独立して移動可能な支持手段212によって支持されており、電流計測時には電流検出手段211がビーム光軸直下に位置し、それ以外のときは退避位置214に位置するよう構成した。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
電子ビーム光源から見てビーム絞り手段の後方に、試料移動ステージと独立して移動可能な支持手段により、電子ビームの電流値を検知する電流検出器を備える電子ビーム装置。
IPC (4)：
H01J37/04 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027
FI (5)：
H01J37/04 A ,  G03F7/20 504 ,  H01J37/305 B ,  H01L21/30 541E ,  H01L21/30 541S
F-Term (11)：
2H097AA03 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097GA45 ,  5C030AA01 ,  5C030AB03 ,  5C034BB06 ,  5C034BB10 ,  5F056BA01 ,  5F056BB03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 荷電粒子ビーム装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-015699   Applicant：株式会社日立製作所
  • 走査電子顕微鏡および類似の装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-172283   Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
  • 電子顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-200776   Applicant：株式会社日立製作所
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