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J-GLOBAL ID:200903002447472552
光電子集積回路およびその作製方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
谷 義一 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999036405
Publication number (International publication number):2000235127
Application date: Feb. 15, 1999
Publication date: Aug. 29, 2000
Summary:
【要約】【課題】 大容量で高速な信号処理が行える光電子集積回路を、高精度にかつ低コストに作製すること。【解決手段】 電子素子と光素子とを集積化した光電融合回路基板201上に、平坦化ポリマー層216とポリマー下部クラッド層217とポリマーコア層218とポリマー上部クラッド層219とからなる少なくとも1つの光導波路層を積層し、光導波路層内に光導波路および光路変換部207からなる光導波路回路を設けた。
Claim (excerpt):
電子素子と光素子とを集積化した光電融合回路基板上に、光導波路回路が直接組み立てられた光電子集積回路であって、前記光電融合回路基板上に、平坦化ポリマー層とポリマー下部クラッド層とポリマーコア層とポリマー上部クラッド層とからなる少なくとも1つの光導波路層を積層して設け、前記光導波路層内に、前記光素子と光接続を行うための光導波路と光路変換部とにより構成された光導波路回路を具えたことを特徴とする光電子集積回路。
IPC (5):
G02B 6/122
, G02B 6/13
, H01L 31/0232
, H01L 31/12
, H01L 33/00
FI (5):
G02B 6/12 B
, H01L 31/12 E
, H01L 33/00 M
, G02B 6/12 M
, H01L 31/02 C
F-Term (57):
2H047KA03
, 2H047LA09
, 2H047MA07
, 2H047PA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA04
, 2H047TA05
, 2H047TA27
, 2H047TA35
, 2H047TA44
, 5F041AA02
, 5F041CA35
, 5F041CA64
, 5F041CA74
, 5F041CA91
, 5F041CA93
, 5F041CB01
, 5F041CB15
, 5F041CB31
, 5F041CB32
, 5F041CB36
, 5F041DA83
, 5F041EE01
, 5F041EE23
, 5F088AA01
, 5F088AB07
, 5F088BA02
, 5F088CB03
, 5F088CB14
, 5F088DA11
, 5F088DA17
, 5F088EA06
, 5F088EA09
, 5F088EA16
, 5F088EA20
, 5F088FA09
, 5F088GA05
, 5F088HA09
, 5F088HA20
, 5F088JA03
, 5F088JA14
, 5F089AA06
, 5F089AB01
, 5F089AB13
, 5F089AC05
, 5F089AC08
, 5F089AC10
, 5F089AC13
, 5F089AC16
, 5F089BB03
, 5F089BC02
, 5F089BC16
, 5F089CA04
, 5F089CA12
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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光接続構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-214698
Applicant:京セラ株式会社
-
光接続回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-158692
Applicant:日本電信電話株式会社
-
光結合構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-003051
Applicant:日本電信電話株式会社
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特開平4-354386
-
高分子光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-153077
Applicant:日本電信電話株式会社
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