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J-GLOBAL ID:200903002544601820

大気圧プラズマ発生装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西藤 征彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003104351
Publication number (International publication number):2004311251
Application date: Apr. 08, 2003
Publication date: Nov. 04, 2004
Summary:
【課題】電圧印加装置のスペース確保が問題になることなく大気圧プラズマ発生装置を設置することができ、大気圧プラズマ発生装置の仕様変更にかかるコストを低減することができる大気圧プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】電極5の電極対に電圧を印加するための電圧印加装置Aが、インバータネオントランス1と、このインバータネオントランス1の一次側に並列に接続されている電解コンデンサ2および整流スタック3とからなり、上記インバータネオントランス1の二次側が、電極5の電極対毎に接続されている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
大気圧プラズマ発生用の電極に電圧印加装置が接続されている大気圧プラズマ発生装置であって、上記電圧印加装置が、変圧器と、この変圧器の一次側に並列に接続されているコンデンサおよび整流スタックとからなり、上記変圧器の二次側が、電極対毎または複数の電極対からなる組毎に接続されていることを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
IPC (4):
H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  H01L21/304 ,  H05H1/46
FI (4):
H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  H01L21/304 645C ,  H05H1/46 R
F-Term (18):
4C058AA01 ,  4C058BB06 ,  4C058DD03 ,  4C058EE23 ,  4C058KK06 ,  4C058KK21 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075BA10 ,  4G075BC10 ,  4G075CA13 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075ED11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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