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J-GLOBAL ID:200903002628279290

湿度センサ及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西浦 ▲嗣▼晴
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003344644
Publication number (International publication number):2005114357
Application date: Oct. 02, 2003
Publication date: Apr. 28, 2005
Summary:
【課題】 インピーダンスを増大させることなく、小型化を図ることができる湿度センサを提供する。【解決手段】 感湿膜13が形成される絶縁基板5の表面5aの領域を囲んで感湿液の流出を阻止する環状の枠部7を絶縁基板5の表面5aに設ける。枠部7内に所定量の感湿液を注入し、枠部7内に注入した感湿液を乾燥して感湿膜13を形成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
絶縁基板の表面上に一対の電極が設けられ、前記一対の電極に跨るように前記表面上に塗布された感湿液が乾燥されて感湿膜が形成されてなる湿度センサにおいて、 前記感湿膜が形成される前記表面の領域を囲んで前記感湿液の流出を阻止する環状の枠部が設けられていることを特徴とする湿度センサ。
IPC (2):
G01N27/12 ,  G01N27/02
FI (3):
G01N27/12 G ,  G01N27/12 M ,  G01N27/02 A
F-Term (28):
2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC03 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046BF05 ,  2G046BH01 ,  2G046BJ06 ,  2G046DC13 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046EA12 ,  2G046EA14 ,  2G046FA01 ,  2G046FA05 ,  2G046FE00 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF06 ,  2G060AG06 ,  2G060AG08 ,  2G060AG10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)
  • 湿度センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-268073   Applicant:ティーディーケイ株式会社
  • 湿度センサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-209206   Applicant:セイコーエプソン株式会社

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