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J-GLOBAL ID：200903002794712121

圧力センサ

Inventor：
石王 誠一郎

About 石王 誠一郎

, 
田中 宏明

About 田中 宏明


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (1)： 伊藤 洋二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999366458
Publication number (International publication number)：2001183254
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：
【要約】【課題】 ブリッジ回路の出力が故障により変化した場合に、精度よく故障を検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】 半導体基板には複数の薄肉部14、15が形成されており、第1の薄肉部14に設けられ、圧力に応じて電気信号を出力する圧力検出用回路と、第2の薄肉部15に設けられ、圧力検出用回路に比較して高い感度で圧力に応じて電気信号を出力する故障検出用回路と、圧力検出用回路と故障検出用回路の各出力に基づいて圧力検出用回路の故障判定を行う故障判定手段28とを備えている。第2の薄肉部15の面積を第1の薄肉部14より大きくするか、あるいは第2の薄肉部15の厚みを第1の薄肉部14より薄くすることで、故障検出用回路の方が高感度になるように構成することができる。
Claim (excerpt)：
複数の薄肉部(14、15)が形成された半導体基板(10、30)と、第1の前記薄肉部(14)に設けられ、圧力に応じて電気信号を出力する圧力検出用回路と、第2の前記薄肉部(15)に設けられ、前記圧力検出用回路に比較して高い感度で圧力に応じて電気信号を出力する故障検出用回路と、前記圧力検出用回路と前記故障検出用回路の各出力に基づいて前記圧力検出用回路の故障判定を行う故障判定手段(28)とを備えていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2)：
G01L 27/00 ,  G01L 9/00
FI (2)：
G01L 27/00 ,  G01L 9/00 Z
F-Term (8)：
2F055AA21 ,  2F055BB12 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055EE15 ,  2F055GG15 ,  2F055HH01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平3-037503
  • センサ
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-507077   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 半導体圧力センサおよびその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-216940   Applicant：山武ハネウエル株式会社
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