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J-GLOBAL ID：200903003051882479

アセチレンジオール界面活性剤溶液及びその使用方法

Inventor：
ポン チャン

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ダニエル メガン キング カージ

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ユージーン ジョセフ カーワッキ,ジュニア

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レスリー コックス バーバー

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Applicant, Patent owner：
エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド

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Agent (5)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  関根 宣夫 ,  西山 雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003292443
Publication number (International publication number)：2004094241
Application date： Aug. 12, 2003
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：
【課題】 リソグラフィープロセス等のために基材表面を調整する処理溶液を提供する。【解決手段】 水性現像溶液の接触角を低下させることにより基材表面の濡れ性を改良するために用いられる1又はそれよりも多くのアセチレンジオール型界面活性剤を含有する処理溶液を提供する。この処理溶液は、レジスト被覆層の現像前に基材の表面を調整するためにも用いられる。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
水性溶媒、非水性溶媒及びそれらの組み合わせからなる群より選択される溶媒と、下記の式(I)又は(II)の少なくとも1種の界面活性剤約10ppm〜約10,000ppmとを含有する処理溶液を、基材に接触させること:
IPC (4)：
G03F7/38 ,  C11D1/72 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027
FI (5)：
G03F7/38 501 ,  G03F7/38 511 ,  C11D1/72 ,  G03F7/11 503 ,  H01L21/30 568
F-Term (19)：
2H025AB16 ,  2H025DA35 ,  2H025EA01 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA25 ,  2H096CA01 ,  2H096CA05 ,  2H096FA05 ,  2H096GA08 ,  2H096JA02 ,  2H096JA03 ,  4H003AC10 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003DC02 ,  5F046LA18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)

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