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J-GLOBAL ID：200903076984611201

アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物および現像剤におけるその使用

Inventor：
ケビン ロドニー ラッシラ

About ケビン ロドニー ラッシラ

, 
ポーラ アン アーリン

About ポーラ アン アーリン


Applicant, Patent owner：
エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド

About エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド


Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000401767
Publication number (International publication number)：2001215690
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、平衡および動的表面張力を低下させる水性組成物、とくに塗料、インク、貯蔵溶液および農業用組成物を提供する。【解決手段】 構造【化1】(ここでrおよびtは1もしくは2、(n+m)は1〜30そして(p+q)は1〜30である)で表わされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を、表面張力を低下させる量で配合してなる。フォトレジスト現像剤/エレクトロニクス洗浄用組成物における界面活性剤としてのこのような付加物使用は特に有利である。さらに、トリアルキルアミンもしくはルイス酸の存在下にアセチレン列ジオールをEOおよび/またはPOと反応させることにより、アセチレン列ジオールのランダムおよびブロックEO/PO付加物を製造する方法も開示される。
Claim (excerpt)：
界面活性剤として、一般式:【化1】(ここでrおよびtは1もしくは2、(n+m)は1〜30、および(p+q)は1〜30であり、そしてエチレンオキシド単位(nおよびm)およびプロピレンオキシド単位(pおよびq)はブロックもしくはランダム状態に分布されている。)で表わされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を含む水性フォトレジスト現像剤組成物。
IPC (3)：
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/004 504 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/30 569 E
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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