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J-GLOBAL ID:200903076984611201
アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物および現像剤におけるその使用
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
石田 敬 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000401767
Publication number (International publication number):2001215690
Application date: Dec. 28, 2000
Publication date: Aug. 10, 2001
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、平衡および動的表面張力を低下させる水性組成物、とくに塗料、インク、貯蔵溶液および農業用組成物を提供する。【解決手段】 構造【化1】(ここでrおよびtは1もしくは2、(n+m)は1〜30そして(p+q)は1〜30である)で表わされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を、表面張力を低下させる量で配合してなる。フォトレジスト現像剤/エレクトロニクス洗浄用組成物における界面活性剤としてのこのような付加物使用は特に有利である。さらに、トリアルキルアミンもしくはルイス酸の存在下にアセチレン列ジオールをEOおよび/またはPOと反応させることにより、アセチレン列ジオールのランダムおよびブロックEO/PO付加物を製造する方法も開示される。
Claim (excerpt):
界面活性剤として、一般式:【化1】(ここでrおよびtは1もしくは2、(n+m)は1〜30、および(p+q)は1〜30であり、そしてエチレンオキシド単位(nおよびm)およびプロピレンオキシド単位(pおよびq)はブロックもしくはランダム状態に分布されている。)で表わされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を含む水性フォトレジスト現像剤組成物。
IPC (3):
G03F 7/004 504
, G03F 7/32
, H01L 21/027
FI (3):
G03F 7/004 504
, G03F 7/32
, H01L 21/30 569 E
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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インクジェット記録用インクの製造法およびその方法によって得られたインクジェット記録用インク
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-365465
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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レジスト用現像原液および現像液
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-097593
Applicant:東京応化工業株式会社
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アッシング後の処理液およびこれを用いた処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-157791
Applicant:東京応化工業株式会社
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インクジェット記録用インク
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-135711
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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特開平3-063187
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セラミック成形用組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-327298
Applicant:京セラ株式会社
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特開平3-163038
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ポリウレタン増粘剤組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-082696
Applicant:バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト, ゲブリユーダー・ボルヒヤース・アクチエンゲゼルシヤフト
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レジスト用剥離液組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-211525
Applicant:東京応化工業株式会社
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洗浄剤組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-238954
Applicant:東邦化学工業株式会社, 旭化成工業株式会社
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印字品質に優れた画像を実現するインク組成物およびそれを用いたインクジェット記録方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-317706
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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特開平3-063187
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特開平3-163038
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