フィルタ装置及び液処理装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上俊夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999304362
Publication number (International publication number)：2001121063
Application date： Oct. 26, 1999
Publication date： May. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】処理液の消費量の低減を図りながら、処理液に含まれる気泡を除去すること。【解決手段】現像液タンク41にN2を吹き込み、この圧力によりフィルタ装置5等を介して供給ノズル3からウエハWの表面に現像液を供給する。フィルタ装置5は、下から上に向かって通流する環状の流路53と、この内側に設けられた不純物除去用フィルタ55と、流路53の最上部に接続された排気路56と、排気路56の一部を塞ぐように設けられ、気体は透過させるが、液体は透過させないという性質を有する例えば中空糸膜よりなる気泡除去用フィルタ57と、を備えている。現像液に含まれる溶存N2は前記流路53で気化して気泡となるが、前記気泡除去用フィルタ57はこの気泡を選択的に透過させるので、現像液から気泡のみを除去することができ、現像液の省量化を図ることができる。

Claim (excerpt)：

不純物と、気泡及び/又は溶存気体と、を含む処理液から、前記不純物と気泡とを除去するためのフィルタ装置において、前記不純物を除去するための不純物除去用フィルタと、前記不純物除去用フィルタに前記処理液を通流させるための流路と、前記流路に接続され、フィルタ装置の外部に気体を排気するための排気路と、前記排気路の内部又は排気路と流路との接続部に、排気路を塞ぐように設けられた気泡除去用フィルタと、を備え、前記気泡除去用フィルタは、液体の透過を阻止し、気体を透過させるものであって、処理液に含まれる気泡をこの気泡除去用フィルタに透過させることにより、前記処理液から気泡を除去することを特徴とするフィルタ装置。

IPC (10)：

B05C 9/10 , B01D 19/00 , B01D 19/00 101 , B01D 35/00 , B01D 36/02 , B01D 53/22 , B01D 63/02 , B05C 11/10 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027

FI (11)：

B05C 9/10 , B01D 19/00 G , B01D 19/00 C , B01D 19/00 101 , B01D 35/00 , B01D 36/02 , B01D 53/22 , B01D 63/02 , B05C 11/10 , G03F 7/30 502 , H01L 21/30 569 C

F-Term (27)：

2H096AA25 , 2H096GA29 , 2H096GA30 , 4D006GA41 , 4D006HA01 , 4D006KA72 , 4D006KB14 , 4D006MA01 , 4D006MB03 , 4D006PA01 , 4D006PB01 , 4D006PB63 , 4D006PC01 , 4D011AA08 , 4D011AB10 , 4D011AC01 , 4D011AC04 , 4D011AD03 , 4D064AA19 , 4D064BK03 , 4D066AA05 , 4D066BB02 , 4D066BB31 , 4F042AA07 , 4F042BA06 , 4F042CB25 , 5F046LA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

処理液供給装置用フィルタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-033833 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
特開平1-284315
特開平2-281727

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