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J-GLOBAL ID：200903003819072943

加速度センサ

Inventor： 小野 正明 ,  石川 寛 ,  田中 浩 ,  山田 澄夫
Applicant, Patent owner： 富士通メディアデバイス株式会社 ,  富士通株式会社
Agent (2)： 林 恒徳 ,  土井 健二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004364927
Publication number (International publication number)：2006170856
Application date： Dec. 16, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：

【課題】パラソルタイプの加速度センサに対し,耐衝撃性に優れた構造を提示する。【解決手段】下端が基板に固定された支持部10と,加わる加速度による歪みに対応して出力信号に変化を与える検出素子13が形成され,前記支持部の上部に一端側が接続された可撓部12と,前記可撓部の他端側に接続して,吊り下げられる錘部11を備え,前記支持部の上部端面に形成されたパッドを介して前記検出素子の出力信号を導くように,前記パッドに接続された導電体リード5を通す窓を有するストッパ基板15を有し,前記ストッパ基板により前記錘部のオーバースイングを制限する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

下端が基板に固定された支持部と, 加わる加速度による歪みに対応して出力信号に変化を与える検出素子が形成され,前記支持部の上部に一端側が接続された可撓部と, 前記可撓部の他端側に接続して,吊り下げられる錘部を備え, 前記支持部の上部端面に形成されたパッドを介して前記検出素子の出力信号を導くように,前記パッドに接続された導電体リードを通す窓開け部を有するストッパ基板を有し, 前記ストッパ基板は,前記支持部の上部端面の前記パッドを囲う領域と接着剤により固定され,前記ストッパ基板により前記錘部の上方向のオーバースイングを制限する ことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01P15/12 D ,  H01L29/84 A

F-Term (9)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA29 ,  4M112CA33 ,  4M112DA18 ,  4M112EA20 ,  4M112FA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-117178   Applicant：松下電工株式会社
• 特公平8-7228号公報
  

Cited by examiner (4)

• シリコン加速度計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-242924   Applicant：日本航空電子工業株式会社
• 多軸加速度センサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-215075   Applicant：三菱電機株式会社
• 特開平4-081630
  
• 加速度センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-347549   Applicant：日立金属株式会社