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J-GLOBAL ID:200903003898513135
光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998301703
Publication number (International publication number):2000113476
Application date: Oct. 08, 1998
Publication date: Apr. 21, 2000
Summary:
【要約】【課題】 露光光源波長とフォーカス光源波長が異なる光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系において、前記2波長間の合焦位置ずれを解消する技術を提供する。【解決手段】 フォーカス光学系調整装置として、光ディスク原盤露光機の露光対物レンズ1に対向して、顕微鏡対物レンズ21を配置する。顕微鏡対物レンズ21の後段には、リレーレンズ22、カメラ23、表示装置24で構成されるモニタ装置を配置する。また、カメラ23の出力信号は、スポット径計測手段25へ供給する。そして、スポット径計測手段25により露光光の合焦位置を検出すると共に、フォーカス光源5、あるいはフォーカスコリメートレンズ6の位置調整によりフォーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に一致させる。
Claim (excerpt):
露光光源とフォーカス光源を別波長とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置において、フォーカス光軸方向に移動可能なフォーカス光源と、露光対物レンズによって形成される光スポット光束を集光する顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズを介して光スポットを観測するモニタ装置と、前記顕微鏡対物レンズを前記光スポット光軸方向に駆動する第1の駆動手段及び前記光スポット光軸に垂直な平面内の2方向に駆動する第2の駆動手段と、前記光スポットの強度ピーク値から光スポット径を算出するスポット径計測手段とを備え、前記スポット径計測手段により露光光の合焦位置を検出すると共に、前記フォーカス光源の位置調整によりフォーカス光のコリメーションを調整し、フォーカス光の合焦位置を露光光の合焦位置に一致させることを特徴とする光ディスク原盤露光機のフォーカス光学系調整装置。
IPC (2):
G11B 7/09
, G11B 7/26 501
FI (2):
G11B 7/09 B
, G11B 7/26 501
F-Term (9):
5D118AA11
, 5D118BA01
, 5D118BB09
, 5D118CD02
, 5D118DB22
, 5D118DC03
, 5D121BA01
, 5D121BB21
, 5D121BB38
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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フオーカス制御装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-216929
Applicant:松下電器産業株式会社
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特開昭64-070929
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特開昭60-192908
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記録装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-196793
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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半導体レーザ光学系の非点収差補正方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-040205
Applicant:富士通株式会社
-
光ディスク原盤記録装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-212245
Applicant:株式会社東芝
-
光ディスク対物レンズの傾き測定装置及び傾き調整装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-289460
Applicant:株式会社東芝
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特開平3-154239
-
特開昭64-070929
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特開昭60-192908
-
特開平3-154239
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